研微申请气动组件、密封门组件及半导体设备专利, 可用于提升设备的使用安全性
国家知识产权局信息显示，研微（江苏）半导体科技有限公司申请一项名为“气动组件、密封门组件及半导体设备”的专利，公开号CN121854494A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明提供一种气动组件、密封门组件及半导体设备，对于气动组件，其中的第一气缸具有第一气口和第二气口，第二气缸具有第三气口、第四气口和第五气口，第二气缸内的第二活塞连接至安全触发件，主阀包括第六气口和第七气口，且主阀至少具有两种位态，两种位态对应第六气口和第七气口不同的进出气方向；第一气口通过第一气管连接至第五气口且第一气管上具有第一汇气口，第二气口通过第二气管连接至第四气口且第二气管上具有第二汇气口；排气支路的第一先导单向阀的出气口连接至第一汇气口，第二汇气口连接至第七气口，第六气口连接至第三气口。本发明中气动组件具备常规模式下的两路输出和受限模式下的单路输出，使其可用于提升设备的使用安全性。
天眼查资料显示，研微（江苏）半导体科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2979.3189万人民币。通过天眼查大数据分析，研微（江苏）半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息63条，此外企业还拥有行政许可10个。
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